TiW膜を良好にエッチングします。成膜方法や膜構造によりエッチング性能が変化するため、詳しくはお問い合わせください。
本製品の特長は以下のとおりです。
・良好な順テーパーを形成します。
・サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。
・エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。
・エッチング後の残渣がありません。
キーワード:ウェットエッチング、チタンタングステン
基本情報TiWエッチング液「Pure Etch TE series」
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | お問い合わせください。 |
カタログTiWエッチング液「Pure Etch TE series」
取扱企業TiWエッチング液「Pure Etch TE series」
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