高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』キッツエスシーティー

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能！お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト！

『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な
ダイヤフラムバルブです。

流量の再現性を求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー
（前駆体）供給に好適。

樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下での
シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。

【特長】
■高温環境に対応
■製品誤差がなく交換後も互換性を確保
■安定して再現性のあるガス流量が得られる
■耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAをシート材に採用
■高温環境下でのシートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

【お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト】
＜自動弁＞
■ジャケットヒーター取付の最適化を考慮したデザイン
・アクチュエータのエアー抜き穴を上面に配置したことで、バルブ側面にジャケットヒーターを
　密着させることが可能となり熱ロスを最小限に抑える
＜手動弁＞
■開閉状態が目視可能な耐熱仕様のハンドルデザイン
・開閉操作部のハンドルや開閉表示板を耐熱仕様にしたことで、材料容器等洗浄時の脱水工程で
　ハンドル部を外す手間を必要とせずベイクアウト可能
・気化供給システム等恒温槽を使用した場合も、のぞき窓から開閉状態の確認が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー（前駆体）供給 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。