株式会社キッツエスシーティー 高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』
- 最終更新日：2023-05-12 13:21:52.0
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「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能！
『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を
受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。
各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。
洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用
製造装置等へご使用いただけます。
【特長】
■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施
■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20％縮小化を実現
■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現
■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能
＃空圧
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』
【製品材質】
■ボディ：SUS316L
■シート：PCTFE
■ダイヤフラム：コバルト合金
※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体、FPD、LED用製造装置等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』
取扱企業高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』
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・半導体製造装置および周辺機器用配管部材、ガスパネル、ユニット類の 開発製造および販売。 ・各種超高純度流体用配管部材およびユニット類の開発製造および販売。 ・上記項目に付帯する一切の業務。
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