高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』キッツエスシーティー

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用
ダイレクトダイヤフラムバルブです。

従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い
低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し
コンパクト化しています。

高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい
ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。

【特長】
■封入ガス圧20.6MPaに対応
■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現
■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている
■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化
■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい

※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

【製品材質】
■ボディ：SUS316L、SUS316LE（二重溶解材）
■シート：PCTFE
■ダイヤフラム：コバルト合金

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■ガスライン（シリンダーキャビネット、BSGS） ■装置内配管　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。