高純度ガス系　ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』キッツエスシーティー

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化！極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部（ASSY）は交換可能

『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積（デッドボリューム）を極限まで
小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。

ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、
リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトします。

また、リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能です。

【特長】
■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小級に
　することで、極めて良好なガス置換特性となっている
■ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、
　リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトする
■リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能
＃デッドスペース

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高純度ガス系　ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

【製品材質】
■ボディ：SUS316L、SUS316LE（二重溶解材）
■シート：PCTFE
■ダイヤフラム：コバルト合金

※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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