高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『ツーステップバルブ』キッツエスシーティー

１台で流量調整と全開／全閉の２段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。

『ツーステップバルブ』は、1台で手動による流量調整と
エアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを
可能とした画期的な複合バルブです。

ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、
パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。

従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、
大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。

【特長】
■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる
　全開/全閉の2段階のコントロールを可能
■パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現
■従来システムのバイパス配管や制御機器が不要
■大幅なコストダウンと省スペース化が可能
■使用目的に合わせた好適なCv値が任意で設定できる

※ＫＩＴＺＳＣＴでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っています。
詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『ツーステップバルブ』

【製品材質】
■ボディ：SUS316L、SUS316LE（二重溶解材）
■シート：PCTFE、PFA、PI
■ダイヤフラム：コバルト合金

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