L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』キッツエスシーティー

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには熱電対と保護用サーモスタットを内蔵し異常加温を防止

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を
最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。

バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、
内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるため
コールドスポットがなくなり副生成物付着を防ぎます。
＃副生成物対策
また、エアシリンダ部への熱影響を低減する構造やインコネル製
ベローズの採用により実績100万回以上の耐久性能も確保しています。

【特長】
■接ガス部の250℃加熱を実現
■ベローズ内部ヒーターを装備
■着脱可能な外部ヒーター

※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。
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基本情報L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

【仕様（抜粋）】
■最高加熱温度（温調器最高設定温度）
　・25A　内部：250℃　外部：260℃
　・40A　内部：250℃　外部：270℃
■温度制御方式：K種熱電対使用の温度コントローラーによる
■使用圧力：1×10^-6～2×10^5 Pa（abs）[0.1MPa（G）]
■標準材質
　・ボディ：SUS304
　・ベローズ：インコネル625
　・アクチュエーター：アルミニウム合金
　・シート：カルレッツ8900

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