L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』キッツエスシーティー

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている、省スペースのバルブ！

「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの
巻き上げを防止します。

メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に
排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力
変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により
圧力コントロールをします。

バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの
2種類を用意しており、このバイパスバルブは15Aサイズを除く「IVB」
「IVBL」「IVBH」シリーズ全てに対応可能です。

【特長】
■従来のスロー排気ラインがメインバルブと一体構造
■省スペース化が可能
■排気ラインの低コスト化が可能
■バイパスバルブは機種によって複数台取り付けることが可能

※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

【その他の特長】
■スロー排気側のコンダクタンスを任意に調整できる（VXタイプ）
■バイパスバルブは耐熱仕様を選定する事により「IVBH」ホットシリーズとの
　併用にて、同時に加熱することが可能

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