イオンゲージ『M-311HG』キヤノンアネルバ

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れた特長を持っています

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。

イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、
広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。

センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。

【特長】
■ワイドな圧力測定範囲
■高応答アナログ出力
■4つのエミッション電流設定モード
■省スペース・低消費電力
■安全性と環境に配慮した製品でRoHSおよびCEマーキングに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報イオンゲージ『M-311HG』

【その他特長】
■10^−7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることなく、
　スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能
■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、
　プロセス圧力コントロールにも使用できる
■高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能
■体積比にて40％の省スペース、省電力化を実現（従来機「M-310HG」と比較）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■生産用真空装置の圧力測定 ■半導体スパッタリング装置の圧力測定 ■各種真空装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。