トランスデューサ型真空計シリーズ

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、
最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。

圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、
気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。

【特長】
■高精度で安定した圧力測定
■優れたゼロ点安定性
■温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現
■優れた対振動ノイズ性能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を
向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。

半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など
さまざまな装置にお使いいただけます。

【特長】
■耐食性の向上（Niフィラメント採用など）
■再現性がよく低価格
■5×10^-2Paから大気圧
■取付方向の制約がない

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ピラニゲージ『M-350PG』は、大気圧から測定できる手軽さと、高い
コストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。

低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、
自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。

【特長】
■再現性がよく低価格
■5×10^-2Paから大気圧
■低・中真空領域の測定に好適

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『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。

大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。

現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています。
用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択いただけます。

【特長】
■ゲージ自動認識
■大型デジタルLCD表示
■RS232Cインターフェース標準装備
■優れた操作性
■見やすい3タイプ表示
・デジタル表示、トレンドグラフ（最長18H）、アナログメータ

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『M-370CG』は、熱フィラメントを使用しない堅牢な
コールドカソードゲージ（冷陰極電離真空計）です。

高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現。

優れた測定安定性で、未放電による測定停止、
圧力表示値のフラツキを低減します。

【特長】
■高真空下での良好な起動性
■未放電・放電遅れを解消
■容易なメンテナンスでメンテナンスは部品交換のみ

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『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、
高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを
組み合わせたコンビネーションゲージです。

1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの
コストダウンや管理負荷低減に貢献。

また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。

【特長】
■優れた測定安定性
　・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止
　・圧力表示値のフラツキを低減
■優れた大気圧検出を実現
　・本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が高い
　・応答性は隔膜真空計と同等

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『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ
クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア
B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。

大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。

真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の
圧力測定などにお使いいただけます。

【特長】
■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせた
　コンビネーションゲージ
■超高真空から大気圧
■高精度、低真空領域において優れた再現性

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『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。

イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、
広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。

センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。

【特長】
■ワイドな圧力測定範囲
■高応答アナログ出力
■4つのエミッション電流設定モード
■省スペース・低消費電力
■安全性と環境に配慮した製品でRoHSおよびCEマーキングに対応

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温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』

【特長】
■高精度で安定した圧力測定
・優れたゼロ点安定性
・低温度依存性
・優れた対振動性

■コンパクト・低消費電力
・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト
・消費電力0.5W

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『ピラニゲージ』は、大気圧から測定できる手軽さと、
高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広い真空計です。

再現性がよく、低・中真空領域の測定に好適。

各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、
様々な産業でご使用いただけます。

【特長】
■高いコストパフォーマンス
■5×10^-2Paから大気圧
■様々な産業で使用可能
■粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御などの用途がある

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