キヤノンアネルバ株式会社軽量でコンパクト！隔膜真空計『キャパシタンスゲージ』

最終更新日：2023-08-22 08:57:54.0
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圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した絶対圧力を測定可能。

温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』

【特長】
■高精度で安定した圧力測定
・優れたゼロ点安定性
・低温度依存性
・優れた対振動性

■コンパクト・低消費電力
・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト
・消費電力0.5W

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報軽量でコンパクト！隔膜真空計『キャパシタンスゲージ』

【ラインアップ】
■M-342DG-1D
■M-342DG-1N
■M-342DG-11
■M-342DG-12
■M-342DG-13

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用途／実績例	【用途】 ■半導体製造装置、パネルディスプレイ製造装置、各種真空装置　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。