SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4 兼松ＰＷＳ

最大4インチ角基板対応手動露光機

ズースマイクロテックMJB4は最大4インチ角基板まで対応可能な手動式マスクアライナ(露光装置)です。
シンプルな操作性、高精度アライメント、高い露光解像性が特徴です。
研究開発用途以外に少量生産用途でもご使用頂けます。

基本情報SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4

・対応基板サイズ
小片 5×5mm～最大φ100mm
※100×100mm対応はオプション

・露光モード
コンタクトソフト, ハード, バキューム
ギャップ露光(1~300μm)
オプション：フラッド露光分割露光

・露光光学系
波⾧
UV400 350~450nm
UV300 280~350nm
UV250 240~260nm
光源
光源水銀ランプ200W, 350W
水銀キセノンランプ500W
UV-LED ( i, h, g線対応)
面内照度均一性
標準：±4.0%(標準)
MO Exposure Optics：±2.5%(オプション)

・アライメント方式
TSAアライメント(表面アライメント)
赤外光透過アライメント(オプション)

・オプション機能
MO Exposure Optics
小片基板用対物レンズ
赤外光透過アライメント
モニター画像観察(デジタルカメラ仕様)

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型番・ブランド名	ズース・マイクロテック MJB4
用途／実績例	MEMS アドバンスドパッケージ 3次元パッケージング化合物半導体パワーデバイス太陽光発電ナノテクノロジーウエハレベルオプティクス

カタログSUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4

取扱企業SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4

兼松ＰＷＳ株式会社

・半導体及び電子部品製造･検査装置お客様のご要望･プロセスに応じた各種装置を提案します｡一貫ラインなどターンキーソリューションのご提供も可能です｡・関連機器･部品サブシステムなど関連機器･部品において､お客様のご要望に沿ったきめ細やかなソリューションをご提供します｡・関連消耗品･受託加工サービス量産に効果的な消耗品のご案内､更にウエハー､セラミック･プリント基板等の受託加工サービスのご提供によりお客様をサポートします｡・技術サポート半導体関連装置､産業機器の設計･製造をはじめ生産ライン及び検査ラインの自動化､省力化等お客様のご要求に合わせたサービスをご提供しています｡また､当社装置以外の自動化､安全化メンテナンス等お気軽にお問合せ下さい｡