FBリニアステージ（精密位置決め装置）工苑

10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ

FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。
ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。
ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。
エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。

基本情報FBリニアステージ（精密位置決め装置）

〇機械的特性の例（FBS100100）
ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイト
モータ：HR8モータ
ベアリングタイプ：精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ：ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧：3m
MTBF（平均故障時間）：30,000Hr
ステージ質量：1811g
可動質量：710g
RoHS：適合
真空対応オプション：高真空（HV）1.4×10-5Pa（10-7 Torr）まで
　　　　　　　　　　超高真空（UHV）1.4×10-8Pa（10-10 Torr）まで
〇性能仕様
移動範囲（mm）：100mm
エンコーダー分解能：標準 100nm
　　　　　　　　　　オプション 10nm
双方向繰り返し精度：標準 1μm
　　　　　　　　　　オプション 100nm
絶対精度（誤差マップ提供可）：標準 10μm
　　　　　　　　　　　　　　　オプション 7μm
最大速度：最大速度250mm /秒

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用途／実績例	【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。