FZくさび形ステージ（精密位置決め装置）工苑

ウエッジ角度によるエラーが皆無

FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。

基本情報FZくさび形ステージ（精密位置決め装置）

〇機械的特性（FBZ085010）
ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイト
モータ：HR8モータ（ピエゾ超音波定在波モータ）
ベアリングタイプ：精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ：ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧：3m
MTBF（平均故障時間）：30,000Hr
ステージ質量：1300g
可動質量：310g
RoHS：適合
真空対応オプション：高真空（HV）1.4×10-5Pa（10-7 Torr）まで
　　　　　　　　　　超高真空（UHV）1.4×10-8Pa（10-10 Torr）まで
〇性能仕様
移動範囲（mm）：10mm
エンコーダー分解能：標準 10nm
双方向繰り返し精度：標準 0.1μm
精度標準：3μm
各モードの最小送り量
（エンコーダと制御に依存）：ACモード100nm
　　　　　　　　　　　　　　UHRモード5nm
　　　　　　　　　　　　　　DCモード<1nm

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用途／実績例	【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。