当コラムでは均質照射面を得る為の、3種類の光学系をご紹介します!
レーザー光源による微細加工、アニール、マスク露光用途などで、
強度分布がフラットな光(トップハット、フラットトップ)や
均質性の高い光学系(ホモジナイザー)が必要になります。
当コラムでは均質照射面を得る為の、3種類の光学系をご紹介します。
【掲載内容】
■非球面レンズを使用した光学系
■ロッドインテグレータを使用した光学系
■フライアイレンズを使用した場合
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基本情報【ヒカリの豆知識】光の均質化(均一化)
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