シリンジ、薬液容器などの医療品や自動車にも対応！「DLC成膜」京浜ラムテック

スパッタリングで硬度なDLC（ダイヤモンドライクカーボン）を成膜し、医療用品や自動車部品に対応します！ ※デモテスト実施中

RAM CATHODEは、ターゲットを4面対向式にすることで、イオン化率を劇的に向上させ
HIPIMS電源を使用せず、DCパルス電源でDLC（ta-C）の形成が可能

【従来のスパッタリング法】
カーボンのイオン化率が低い為、硬度なta-C領域を得るには、HIPIMS電源を使用し、
強制的にイオン化率を上げなければなりませんでした。

【当社が開発したRAMカソード】
４面に対向するターゲットを配することでターゲット間の磁界により
プラズマの拘束を高めることが可能となり、高密度プラズマが形成されます。
拘束されたプラズマ内において電子、反跳アルゴン、Cfluxが、
互いに衝突を繰り返すことでArイオン及びCfluxのイオン化が促進され、
DLC膜においてC-C結合を容易に形成することができます。

その結果、HIPIMS電源を使用することなく、高硬度で平滑度の高いDLC形成を実現化しました。
また、表面処理も不要なため、品質面も良く、時間工数も削減可能です。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報シリンジ、薬液容器などの医療品や自動車にも対応！「DLC成膜」

【特徴】
・DLC形成：イオン化率が従来のスパッタリング手法による形成時より高い

●4面対向ターゲットで拘束されたプラズマ内において電子、反跳アルゴン、C fluxが
互いに衝突を繰り返すことでArイオン化及びCfluxのイオン化が促進される。
C＋はイオン衝突により高エネルギーでイオン化が促進するためDLC膜において
C-C結合が容易に形成することが可能。

●「透過率」「硬度」「表面の粗さ」が向上。

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用途／実績例	【用途例】スマートフォンのカバーガラス食品フィルム医療布・ポリマーシリンジ・薬液容器人工関節赤外カメラ・赤外センサー Etc.