【多目的真空蒸着装置】有機蒸着源テガサイエンス

多目的真空蒸着装置HEXシステム用有機蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の有機蒸着源です。

ORCAをインストールすることで、HEXシステムを有機物蒸着装置として使用できます。ORCAソースはルツボを積極的に冷却しています。加熱と冷却のバランスにより、優れた温度安定性と制御性を実現しています。

ルツボは熱伝導率の高い材質で作られていることから、蒸着レートに悪影響をおよぼすホットスポットが発生しません。アルミナ製やグラファイト製ライナーも用意されています。

ルツボの温度はKタイプ熱電対により測定されます。一般的な接触型熱電対よりも精度の高い温度測定が可能です。ORCAには電源ユニットと低温動作に最適化されたPIDコントローラーが付属します。

ORCAソースはスパッタソース、電子ビーム蒸着源および抵抗加熱蒸着源と組み合わせて使用することができます。ルツボ周囲は冷却された保護キャップに覆われており、隣接するソースからの熱干渉を最小限に抑えられています。

関連リンク - https://www.tegascience.co.jp/products/kvt/orca.ht…

基本情報【多目的真空蒸着装置】有機蒸着源

【主な仕様】
ルツボ容量：15cc（10cc：オプション）
温度範囲：50℃～600℃
電源：DC
冷却：水冷（1L／分）

価格情報	構成により変わります。お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※構成により変わります。お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	ORCA
用途／実績例	有機物の蒸着、OLEDなど

取扱企業【多目的真空蒸着装置】有機蒸着源

テガサイエンス株式会社

【取扱製品】 1. 多目的真空蒸着装置 2. ナノ粒子堆積装置 3. 円二色性分散計 4. ストップトフロー装置 5. 超高感度CCDカメラ 6. X線回折CCD検出器 7. 高性能TEM用カメラ 8. 低温吹付装置 9. 極低温単軸ストレス／ひずみセル 10. IRセンサーカード 11. シンチレーター応用製品