東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。
金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。
小型装置から大型装置まで豊富なラインナップと、35年以上の確かな実績をもとに、お客様のご要望に柔軟にお応えします！
大型装置では、最大で800mm×1000mmの平面エリアに成膜できます。
また、インライン方式の装置のため、一日である程度まとまった数量を成膜できます。
大型装置だからといって大きな基材しか搭載できないわけではありません。
小さな基材をたくさん搭載して成膜することも可能ですので、量産コストでもメリットがあります！
お気軽にご相談ください★
基本情報大面積への成膜加工！ ガラス…フィルム…セラミック…金属材…
■対応膜種
金属膜：Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など
積層膜：Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr など
酸化膜：Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、ZrO2、ZnO など
窒化膜：AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など
炭化膜：SiC、TiC、BC など
※使用装置によって変わりますので、ご相談ください。
■最大搭載可能サイズ：800×1000mm
※小型装置から大型装置まで幅広く保有しております。
■対応可能基板
・Si Wafer
・ガラス
・フィルム
・セラミックス
・金属材
他
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ大面積への成膜加工！ ガラス…フィルム…セラミック…金属材…
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