株式会社PFA 【ウェハ素子】レーザートリミング装置『PLT-20』

ウェハで形成された製品を電気特性検査しながら、レーザーにて特性の追い込みを行います

『PLT-20』は、音叉型水晶振動子の金属皮膜をレーザーで除去して、
発振周波数を調整する装置で高いシェアを誇ります。

ウェハレベルで水晶振動子を発振させ、数十個同時測定加工を行い、
高スループットを実現。

フォトリソ加工したウェハに対して不要回路の溶断や、ウェハ内の
不良素子へバットマーク印字など、様々な用途に応用できます。

【特長】
■レーザーの種類は様々ご提案可能
■ローダー/アンローダーによるウェハ自動搬送を実現
■NGチップ折り取り機能による後工程へのNG流出防止(オプション)
■様々な電子デバイス素子のウェハトリミング・計測に応用可能

詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※レーザ マーキング ウエハトリミング wafer ウェハ調整 

基本情報【ウェハ素子】レーザートリミング装置『PLT-20』

【仕様(一部)】
■対象ワーク
 ・代表例:音叉型水晶振動子ウエハ 最大8インチまで対応可
 ・機種変更は、専用部品の交換により対応可能
■外観寸法:幅1400×奥行き1600×高さ1800
■作業(搬送)高さ:900mm
■ユーティリティ
 ・電源:三相200V 20A 50Hz
 ・エアー:20リットル/min

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■フォトリソ加工したウェハに対して不要回路の溶断
■ウェハ内の不良素子へバットマーク印字

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ【ウェハ素子】レーザートリミング装置『PLT-20』

取扱企業【ウェハ素子】レーザートリミング装置『PLT-20』

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株式会社PFA

・電子部品(組み立て・検査装置・温度試験装置) ・半導体(ウェハレベルの検査装置、レーザトリミング装置) ・光学機器(アクティブアライメント、クリーンディスペンサ) ・自動車部品等の各種製造装置 ・実装機 ・検査装置の設計、製作、販売及びソフト開発

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