有限会社ハイテクノサービス 半導体製造装置用プロセスコントローラー
- 最終更新日:2022-05-30 14:28:52.0
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グラフィカルに各種装置・PLCを制御!医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能
『半導体製造装置用プロセスコントローラー』は、当社の縦型減圧CVD装置
「HG-21」に搭載された、オリジナルの製品です。
産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能。
PCから簡単にプロセス条件の変更が行えます。またDI・DO・AI・AOで制御する
多くの装置に応用可能で、各種研究開発用装置に大いに利用できます。
【特長】
■当社の縦型減圧CVD装置「HG-21」に搭載
■グラフィカルに各種装置・PLCを制御
■PCから簡単にプロセス条件を変更
■DI・DO・AI・AOで制御する多くの装置に応用可能
■各種研究開発用装置に大いに利用できる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報半導体製造装置用プロセスコントローラー
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用途/実績例 | 【応用例】 ■産業機器、医療・農業 ■各種研究開発用装置 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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