微妙なズレが、膜厚のムラに繋がる！様々な課題の解決を当社がお手伝いします
『スピンコーター』は、高品質の塗膜を効率よく均一に生成できる手段です。
しかしデリケートな基板、薬液であればあるほど少しの変化で膜厚を均一に
することができなくなり、微妙なズレが膜厚のムラに繋がってしまいます。
こうした問題の解決には、製品自体の性能を上げることなどが有効。
当社では、お客様が抱える様々な課題に対して、長年培ってきた経験を
生かしたお手伝いが可能です。是非ご相談ください。
【解決方法の例】
■連続運転におけるカップ内温度の上昇による膜厚変化を抑えたい
⇒スピンドル部をチラー水で冷やす
■基板が薄く模様のように吸着跡がついてしまう
⇒吸着穴をごく小さくしたり穴位置をずらす
■角基板四隅の不均一な膜厚に困っている
⇒密閉式試料台を活用する
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報スピンコートによる均一な塗膜生成方法とは
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