光学部品にもナノレベルの精度を！表面状態の影響を受けずに高い反射率を実現！
取引先の半導体メーカー様から、集積回路製造装置のセンサーに使われる
プリズムのサンプル解析を依頼されました。当社で任意に油脂（汚れ）を
付着させて解析を行なったところ、汚れにより、全反射条件が崩れ、光量が
損失することが判明しました。
万が一、汚れが付着すれば、検知精度が下がって工程不良を引き起こす要因と
なりうるため、早急な改善が急務でした。
そこで当社は、万が一、汚れが付着しても高反射を維持する高反射ミラーを
付与したプリズム「誘導体多層膜ミラー付きプリズム」をご提案。
半導体メーカー様から高い評価をいただき、すぐに採用となりました。
【事例概要】
■課題：反射面の汚れが影響し、反射率の低下を引き起こす
■ソリューション：汚れが付着しても高い反射率をキープし、
精密な半導体製造の品質保持に貢献
■ご紹介製品：プリズム
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基本情報【課題解決事例】汚れが付着しても高反射を維持するプリズムをご提案
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