株式会社クオルテック EDS（エネルギー分散型Ｘ線分光法）による元素分析のご紹介

最終更新日：2022-11-24 14:43:57.0
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SEMでの高倍率観察中に試料の特定箇所をピンポイントで評価できるため、μmオーダーの微小領域分析が可能です。

電子顕微鏡（SEM）にて画像観察する際、電子線を物質に照射すると蛍光X線が発生します。

その中には元素固有の情報を持った特性Ｘ線が含まれています。
これを半導体検出器のようなエネルギー分散型検出器にて検出し、そのエネルギーと強度を測定すると、
物質を構成する元素を定性的に解析することが出来ます。

【特長】
■定量分析が可能（バルク材料など）
■多元素同時測定が可能で分析時間が短い
■μmオーダーの微小領域分析が可能

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