プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社 プラズマ除去装置『HDRF』
- 最終更新日：2022-11-14 11:00:51.0
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フォトレジストや有機ポリマ残渣を低温で除去！当社のプラズマ除去装置をご紹介
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社で取り扱う、『HDRF』を
ご紹介いたします。
MEMS、LED、先端パッケージングのデバイス製造段階で特に重要になる、
フォトレジストや有機ポリマ残渣を低温で除去します。
ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。
【特長】
■温度
・Low temp：50℃ to 150℃
・High rate：150℃ to 250℃
■ウエハ：2"～8"
※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報プラズマ除去装置『HDRF』
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログプラズマ除去装置『HDRF』
取扱企業プラズマ除去装置『HDRF』
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■プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、 ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売 ■当該装置に関するカスタマーサービスの提供
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