デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】東京電子

当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービスを行います。

分析アプリケーション例（蓄積法）

破壊分析
　●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
　●半導体ウェハ基板からのガス放出測定
　●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定

非破壊分析
　●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定

特設サイト

基本情報デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

こんな評価におすすめです！

・プロセス評価
・デバイスの品質管理、品質解析
・分析装置導入前の評価、条件出し

受託分析サービスを是非ご活用ください。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	破壊分析　●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定　●半導体ウェハ基板からのガス放出測定　●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定非破壊分析　●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定

カタログデバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

『受託サービス：質量ガス分析』分析システムのご案内

PDFダウンロード電子ブックをすべて見る

取扱企業デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

東京電子株式会社

○自社ブランド真空計開発・設計・製造・コンビネーションゲージ　・ピラニゲージ　・コールドカソードゲージ　・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造・コンビネーションゲージ　・ピラニゲージ　・コールドカソードゲージ　・ホットカソードゲージ　・その他 ○加速器向け製品・各種真空計　・真空ポンプ用電源　・真空排気装置 ○電子（応用）機器の受託設計・製造・各種制御機器