残留水素でお悩みの方に！
0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス（水素）放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。
マジックNEGポンプの最大の魅力は、 超低価格のCF70タイプおよび、 114タイプをご提供可能なことです。 消耗品としてご購入いただける金額ですので、 NEGを初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。
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基本情報 非蒸発型ゲッターポンプ マジックNEG
【特徴】
■ ピル NEG を使った低ガス放出 NEG ポンプ
■ NEG をポンプケーシングの壁面に配置
■ 超低ガス放出 0.2% BeCu 合金製ポンプケーシング
■ 実効排気速度を 10-10Pa 台まで拡張
■ CO に対する排気速度が大きい（H2 とほぼ同等）
■ 省電力活性、動作時→無振動、無荷電粒子、無電力
■ SUS 製 ICF070 & 114 フランジに対応
■ 取り付け方向自由
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ICF114タイプ：MNEG-114 ICF70タイプ：MNEG-70 |
| 用途／実績例 | ■極高真空(XHV)領域まで排気能力を拡張させたい方 ■残留水素ガスの除去にお悩みの方 ■ターボ分子ポンプ(開放系) や小型イオンポンプ（封止切系）の補助ポンプと して。 ■排気時間短縮をお考えの方（大気圧から排気を開始して24h以内に10-10Pa 台のXHV を発生させることができます。 ） |
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