株式会社テクノビジョン ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220
- 最終更新日：2023-05-10 15:30:03.0
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オペレータが求める『優れた作業性』実現！
従来の装置になかった自動カット機能を搭載したウェハー拡張装置のモデルです。
今まで行っていました余分なフィルム（ダイシングフレーム）との切り離し作業が、これからは「スイッチを押すだけ」に変わります。
EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。
拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。
またオートカット機能を標準で搭載しています。
テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。
拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。
基本情報ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220
■主な特長
・拡張率を任意に設定可能。
・拡張スピードを任意に設定可能。
・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
・フィルム自動カット機構搭載
■カスタマイズ
安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様．．．等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | TEX-220 |
| 用途／実績例 | ダイシング／分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング／分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TEX-220 | 8インチまで、装置寸法：420mm（W）× 675mm（D）× 480mm（H） |
カタログウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220
取扱企業ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220
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■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■ＦＰＤ製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。 【洗浄装置関連】 ・カセット・キャリア洗浄装置 ・フォトマスク洗浄装置 ・全自動マスク洗浄装置／マスク洗浄機 ・簡易洗浄ユニット ・紫外線オゾン洗浄装置 ・超純水用・エアー用加熱装置 【スーパークリーンヒーター】 ・超純水用加熱ヒーター ・クリーン加熱ヒーター ・簡易タイプ温度コントローラー 【後工程組立関連】 ・テープマウンター／ウェハーマウンター（ウエハーマウンター） ・ウェハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置 ・UVフィルム硬化装置／紫外線フィルム硬化装置 ・グリップリング／ウェハー収納ケース ※日本全国および海外（台湾、中国、欧米）にも対応。 詳細は、お気軽にお問合せ下さい。
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