【市場(マーケット)別　応用例】半導体製造コヒレント・ジャパン

先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで！製造工場をサポート

当社の製品は、欠陥の特定および回避、Low-k誘電体などの高度な材料の
加工により、先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで
製造工場をサポートします。

幅広い製品ラインアップの短波長レーザにより高解像度を実現可能。

出力の向上とレーザの短波長化により、欠陥検知感度の向上と処理の
高速化を実現しています。また、当社のUV/DUVレーザは、卓越した
経験に裏打ちされた優れた信頼性を備えています。

【目的別ラインアップ(一部)】
■ウェハ検査
・PALADINシリーズ
■マスクライティング
・INDYSTAR
・GENESIS

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基本情報【市場(マーケット)別　応用例】半導体製造

【その他目的別ラインアップ(抜粋)】
■マスク検査
・AZURE NX
・INDYSTAR
・INNOVAシリーズ
・OBIS CORE LS
■ウェハレーザアニーリング
・DCシリーズ
・REVOLUTION
・COMPEX

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