株式会社ハイテック・システムズ クラスターツール『3ICP＋2cassetteモジュール』
- 最終更新日：2023-06-16 16:26:07.0
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SI 500-1M、SI 500 PPD-1Mなど搭載可能！搬送チャンバーは3種類から
『3ICP＋2cassetteモジュール』は、さまざまなモジュールを
搭載可能なクラスターツールです。
ICPRIEモジュールの「SI 500-1M」をはじめ、RIEモジュールの
「SI 500 RIE-1M」や、PECVDモジュールの「SI 500 PPD-1M」、
ALDモジュール「SI ALD-1M」などを搭載可能
ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。
【搭載可能モジュール】
■SI 500-1M：ICPRIE モジュール
■SI 500 D-1M：ICPECVD モジュール
■SI 500 RIE-1M：RIE モジュール
■SI 500 PPD-1M：PECVD モジュール
■SI ALD-1M：ALD モジュール
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報クラスターツール『3ICP＋2cassetteモジュール』
【搬送チャンバー】
■3ポート
■4ポート
■6ポート
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログクラスターツール『3ICP＋2cassetteモジュール』
取扱企業クラスターツール『3ICP＋2cassetteモジュール』
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