株式会社ハイテック・システムズ イオンエネルギー分光法『IES』

高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能!プロセスモニタリングのための診断ツール

『Ion Energy Spectroscopy(IES)』は、イオンエネルギー分光法です。

PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの
プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。

プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から高品質な薄膜と
界面の情報を得ることができます。

【特長】
■プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から
 高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能

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基本情報イオンエネルギー分光法『IES』

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カタログイオンエネルギー分光法『IES』

取扱企業イオンエネルギー分光法『IES』

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