株式会社ハイテック・システムズ イオンエネルギー分光法『IES』
- 最終更新日:2023-06-21 15:06:39.0
- 印刷用ページ
高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能!プロセスモニタリングのための診断ツール
『Ion Energy Spectroscopy(IES)』は、イオンエネルギー分光法です。
PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの
プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。
プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から高品質な薄膜と
界面の情報を得ることができます。
【特長】
■プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から
高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報イオンエネルギー分光法『IES』
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログイオンエネルギー分光法『IES』
取扱企業イオンエネルギー分光法『IES』
イオンエネルギー分光法『IES』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。