【SEMICON Japan 2023】位置決めステージシステム工苑

半導体の製造／検査向け、顕微鏡向けの位置決めステージシステムを展示します

工苑が取り扱っているNanomotion社の超音波モータは、位置決めステージの高速移動と精密位置決めを両立できます。
この超音波モータを使ったステージは、電子ビーム／イオンビーム用ステージや、ライトシート顕微鏡などでの実績があります。

これらの位置決めステージは、ユーザ様の仕様からNanomotion社で設計提案を行い、またユニットとして製造供給も行っています。

このたび東京ビッグサイトで開催される「 SEMICON Japan 2023」で、この超音波モータを使ったステージシステムを出展します。

【出展製品】
■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有)
■半導体産業向け4軸ステージ
■ライトシート顕微鏡用5軸ステージ

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

基本情報【SEMICON Japan 2023】位置決めステージシステム

【開催概要】
■日時：2023年12月13日(水)～12月15日(金)
　　　　10;00～17:00
■場所：東京ビッグサイト　東5ホール
■：小間番号　5512

■URL：https://www.semiconjapan.org/jp

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用途／実績例	電子ビーム用ステージ、イオンビーム用ステージ、デジタル顕微鏡用ステージ、半導体検査装置用ステージ