粗取り用オールメタルガスフィルターピー・ジェイ

幅広い濾過精度に対応

(株)ピュアロンジャパン製　ガスフィルターです。
定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。

基本情報粗取り用オールメタルガスフィルター

【特徴】
○濾過精度は０.１、０.５、１.０、５.０、１０μｍ各種となります。
○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、６０Ｌ/ｍｉｎです。
○設計圧力は１７ＭＰａ（２,４６５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。
○最高使用温度は４００℃です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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型番・ブランド名	ＲＧＦシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など