『マイクロアイスジェット』は、水を圧縮エアによって超音速（約450ｍ/秒）
まで加速して生成した直径わずか10μｍの氷粒子（過冷却水滴）を噴射し、
精密洗浄を行う２流体ノズルです。
今まで除去できなかった細かい凹凸に入った異物や、微細な金属バリを
簡単に取り除けるほか、CO2などの特殊な気体を使わず、とても安全です。
【特長】
■対象物の表面が傷つかない
■CO2ガス、特殊冷媒、製氷機などの設備が不要
■薬液も不使用で安全・安心
■設備コスト・ランニングコストも安価
※製品の詳細はカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい
基本情報精密洗浄用『マイクロアイスジェット』
【ユニットの構成】 ※いずれもレンタル可能です。
◎MIJ-P100（生産設備仕様）
・超音速二流体ノズル：1本
・制御BOX：1台
・その他特長：
エアと水のON/OFF、エア温度および圧力、水温度および流量の表示と異常表示、
AC100V、I/Oポートを持ち他の装置からリモート操作が可能
◎MIJ-ZX100（試験用簡易仕様）
・超音速二流体ノズル：1本
・制御BOX：1台
・その他特長：
エアと水のON/OFF、エア温度および圧力，水温度および流量の表示、電源不要
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | MIJ-P100、MIJ-ZX100 |
| 用途／実績例 | ・ウェハダイシング後のパーティクル(約10μm)の除去 ・鏡面仕上げされた軟らかい金属部品表面のパーティクルの除去 ・レンズ等ガラス部品に付着した油脂やパーティクル(数十μm以下)の除去 ・金属に加工した小穴(φ2mm)周りに発生したヒゲ状の微小バリ(長さ0.2mm×太さ0.01mm)の除去 ・金属に加工した小穴(φ0.2mm×深さ1mm)に詰まった球状アルミナ(φ1μm)の除去 ・樹脂基板を加工したマイクロドリル(φ0.1mm)に巻き付いた切りくず(樹脂と銅)の除去 ・ネオジム磁石(磁束密度：2000ガウス)に付着した鉄粉(百数十μm以下)の除去 ※特許取得済 |
取扱企業精密洗浄用『マイクロアイスジェット』
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