改善成功事例3　有機材料開発用蒸着装置　北野精機

改善成功事例　事例3　有機材料開発用蒸着装置　KVD-OLED Evo.Cluster

◆◇◆経緯◆◇◆

これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。
しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、
問題が多々発生している。（搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが
早い・蒸着レートコントロールが困難など）そこで、コンパクトであるが、
最低限、既存装置の仕様を盛り込み、スペックを更にアップした装置が欲しい。

基本情報改善成功事例3　有機材料開発用蒸着装置　

◆◇◆対処法◆◇◆

弊社、有機材料開発用蒸着装置（KVD-OLED Evo.Cluster）を提案した。
本装置は、コンパクト性を有し、排気系等の使用機器類は、高グレードな
物を選定し、ソフトウエア制御との組み合わせにより、蒸着の高精度化、
制御系の高効率化を最大限に図る様々な仕様を提案した。本システムは、
一からの設計製作になり、お客様の要望を全て盛り込む形を提案した。

◆◇◆結果◆◇◆

自動制御システムの確立により、生産効率が向上し、24時間フル稼働運転が
可能になった。（以前は、9:00〜17:00運用）また、省スペース性を重視し、
無駄の無い装置配置構成となっており、人間工学に基づいた取り扱いに
大変優れた装置となった。操作方法として、パソコンによる操作を採用することにより、
予約機能等を盛り込む事が可能となり、自由度が大幅に向上した。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	KVD-OLED Evo.Cluster
用途／実績例	◆◇◆用途例◆◇◆ ・有機EL材料開発・有機TFT開発・有機薄膜太陽電池開発など

カタログ改善成功事例3　有機材料開発用蒸着装置　

取扱企業改善成功事例3　有機材料開発用蒸着装置　

北野精機株式会社

最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設【製品一例】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他）　《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ）　（化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ）《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）