内層板用両面同時露光装置　光ＨＤＥ１１０Ｓ豊和工業

今までの露光装置とは生産性が違います！

　通常12秒〜のタクトタイムを、何と！ 9秒にまで縮小しました。
　1分に換算すると、今までのものよりも1〜2枚生産量ＵＰが実現できます。

　　◆高生産性
　　　・高スループット：最大5枚／分
　　　・大基板サイズ対応：最大30×24インチ
　　◆高精度露光
　　　・高精度アライメント：新画像処理システム
　　　・安定露光：楔形真空接合方式

　※詳細は『カタログダウンロード』か『お問い合わせ』よりどうぞ。

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型番・ブランド名	光　ＨＤＥ１１０Ｓ
用途／実績例	◆品質と高生産性の両立をさせたい場合に。 ◆基板サイズの自由度を利かせつつ、生産性を高めたい場合に。