真空ポンプユニット（装置組込型）　P94 テクノメイト

水滴・水蒸気を含む気体の吸引に適した水封式真空ポンプユニット！

『真空ポンプユニット P94』は、加工対象物を薬液をかけながら切断する際に、対象物を保持する真空源として使用するユニットです。
ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成されています。

【特長】
■ウエット処理装置の真空チャック用の水封式真空ポンプにユニット
■水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適

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基本情報真空ポンプユニット（装置組込型）　P94

【仕様】
○水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成
○電動機出力：1.45KW/1.85KW (50/60HZ)
〇到達圧力：3.3kPa
○排気速度：48m3/h 、59ｍ3/h (50/60HZ)
○接続口径：25mm
○給水量：3.83LP、0.2?0.5MPa
○重量：約50Kg
○外形寸法：D484×H218×W186
○騒音レベル：65dB/69dB (50/60HZ)
○電源電圧：185?220V 3相Δ結線
○定格電流：6.4A/8.2A (50/60HZ)
○周囲温度：40℃

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型番・ブランド名	P94
用途／実績例	【用途】 ■ダイサー（装置組込） ■ウエット処理装置【実績例】装置組込として使用