株式会社テクノメイト 超純水加熱装置

加温する液体成分に影響を及ぼさない製品となっています。

本装置は、シリコンウェハー,液晶ガラス基板,ハードディスク基板、及び各種部品等の洗浄で使用される超純水をカーボンヒーターにより加温する装置です。

【特徴】
○純水加熱容器は石英ガラスを使用
○純水接液配管部はフッ素樹脂を使用
○純水加熱に好適なカーボンヒーターを使用
○加熱効率が96%以上
○PID制御による±1℃の安定した温度制御
○起動から使用温度まで120秒以内の昇温
○幅広い使用流量・温度に対応
○流量変化に対応した温度調整が可能

※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。
※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報超純水加熱装置

【仕様】
○加温能力:12?/分、ΔT=55.0℃(12Nの場合)
○最高設定温度:85℃
○温度調整制度:±1℃
○加温タンク数:2個(12Nの場合)
○ヒーター本数:12本(12Nの場合)
○電源(制御用):AC200V 5A

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 HDM-3
用途/実績例 【用途】
■ダイサー(装置組込)
■ウエット処理装置

【実績例】
単独にて使用

ラインナップ

型番 概要
HDM-3

カタログ超純水加熱装置

取扱企業超純水加熱装置

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株式会社テクノメイト

各種機器・装置の設計・製作 【取扱い商品】 昇圧ポンプユニット 高圧ポンプユニット 真空ポンプユニット 冷却装置 加熱装置 恒温循環装置 薬液供給装置 各種試験装置 3Dメガネ洗浄機 殺菌装置 排気装置 燃料電池関連

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