RFラジカルビーム源 IRFS-503
放電部、引き出し部は高純度PBNで製作され
活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え
かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源
【特徴】
○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し
差圧によりフラックスを引き出す
○放電が目視確認できるビューポートを標準装置
発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できる
○完全金属シール、200℃ベーカブル対応によりMBE装置等
各種超高真空装置に使用可能
○分子線セルポート取付を前提に設計されているため
従来型のMBE装置に増設可能
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
基本情報RFラジカルビーム源 IRFS-503
放電部、引き出し部は高純度PBNで製作され
活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え
かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源
【特徴】
○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し
差圧によりフラックスを引き出す
○放電が目視確認できるビューポートを標準装置
発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できる
○完全金属シール、200℃ベーカブル対応によりMBE装置等
各種超高真空装置に使用可能
○分子線セルポート取付を前提に設計されているため
従来型のMBE装置に増設可能
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | IRFS-503 |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
取扱企業RFラジカルビーム源 IRFS-503
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