UV(紫外線)オゾン洗浄装置| UV-208/UV-312 テクノビジョン

UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用

紫外線オゾン洗浄装置は、特定波長の紫外線を照射しオゾン（O3）を生成、その生成したオゾンを利用し有機化合物を酸化・分解させることで、ワーク表面の有機物汚染の除去、表面改質を行うUV洗浄装置です。

テクノビジョンの提供する紫外線（UV）オゾン洗浄装置UV-208、UV-312は、UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用し、ワーク全エリアを均一に照射することができ、複雑な機構を必要としない、シンプルなドライ洗浄装置です。ファイナル洗浄として威力を発揮します｡

基本情報UV(紫外線)オゾン洗浄装置| UV-208/UV-312

■主な特長
・高密度ＵＶグリッドランプを使用。
・ワーク面に対して照射が均一。
・省スペース、コンパクト設計。
・シンプルなユーティリティー。
・両面洗浄、片面洗浄の対応が可能。
・簡単操作、セーフティー機能内蔵。

価格情報	-
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	Technovision UV-208/312
用途／実績例	■主な用途・半導体ウェハー、フォトマスク、ガラス基板、光学部品の洗浄・樹脂部品の表面改質・接着、塗装、印刷、蒸着、はんだ等の密着性の向上・ワーク表面のヌレ性改善

カタログUV(紫外線)オゾン洗浄装置| UV-208/UV-312

取扱企業UV(紫外線)オゾン洗浄装置| UV-208/UV-312

株式会社テクノビジョン本社

■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■ＦＰＤ製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。【洗浄装置関連】・カセット・キャリア洗浄装置・フォトマスク洗浄装置・全自動マスク洗浄装置／マスク洗浄機・簡易洗浄ユニット・紫外線オゾン洗浄装置・超純水用・エアー用加熱装置【スーパークリーンヒーター】・超純水用加熱ヒーター・クリーン加熱ヒーター・簡易タイプ温度コントローラー【後工程組立関連】・テープマウンター／ウェハーマウンター（ウエハーマウンター）・ウェハーエキスパンダー／ウェハー拡張装置・UVフィルム硬化装置／紫外線フィルム硬化装置・グリップリング／ウェハー収納ケース ※日本全国および海外（台湾、中国、欧米）にも対応。詳細は、お気軽にお問合せ下さい。