テクノクオーツ株式会社 受託洗浄サービス ドライ洗浄・表面処理再生

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当社では、環境面へ配慮した洗浄方法として『ドライ方式洗浄』を採用しております。
大量の廃液を発生させるウェット洗浄への依存を低減させ、品質・納期・コスト・安全面の向上を図っております。ドライ方式の場合、洗浄によるパーツ消耗は殆ど起きません。

基本情報受託洗浄サービス ドライ洗浄・表面処理再生

【洗浄対象プロセス】
○CVD
○スパッタリング
○イオンミリング
○ドライエッチング(半導体・液晶)
○エピ

【洗浄事例】

○膜種にもよりますが、CVD等の成膜プロセスで使用されるセラミックス・金属パーツの表面付着膜を除去することが可能です。母材に極力ダメージを与えない洗浄方法を採用しておりますので、初期表面を維持したい場合に有効です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

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カタログ受託洗浄サービス ドライ洗浄・表面処理再生

取扱企業受託洗浄サービス ドライ洗浄・表面処理再生

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テクノクオーツ株式会社

○半導体製造装置用製品 [反応管、キャリアボート、ベルジャー、石英リング、 シリコン電極] ○理化学機器用製品 [石英ガラスセル、G・Lクロマトグラフィー用製品、テドラーバッグ] ○その他 [半導体製造用加熱機器(ヒーター)]

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