テクノクオーツ株式会社 受託洗浄サービス ドライ洗浄・表面処理再生
- 最終更新日:2010-10-01 00:00:00.0
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洗浄のことならお任せ下さい!
当社では、環境面へ配慮した洗浄方法として『ドライ方式洗浄』を採用しております。
大量の廃液を発生させるウェット洗浄への依存を低減させ、品質・納期・コスト・安全面の向上を図っております。ドライ方式の場合、洗浄によるパーツ消耗は殆ど起きません。
基本情報受託洗浄サービス ドライ洗浄・表面処理再生
【洗浄対象プロセス】
○CVD
○スパッタリング
○イオンミリング
○ドライエッチング(半導体・液晶)
○エピ
【洗浄事例】
○膜種にもよりますが、CVD等の成膜プロセスで使用されるセラミックス・金属パーツの表面付着膜を除去することが可能です。母材に極力ダメージを与えない洗浄方法を採用しておりますので、初期表面を維持したい場合に有効です。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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