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【製作事例】φ500mmまで製作実績あり！「石英カラス内部に精密中空パターンを形成」等アイディアに応じた加工をご提案いたします。
テクノクオーツ は主に半導体・液晶製造装置関連及び理化学機器に使用される高精度な石英ガラス・シリコン・セラミックス製品を提供します。 本資料では、ガス、液体を流し込む「内部流括付ガスシャワープレ…
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石英ガラス加工は微細加工から1ｍクラスの大型製品まで対応可能。 多孔質構造体はシート・筒形状などの製作が可能。
当社では、高度な品質要求の分野で培われた技術と経験をもとに、 半導体製造プロセスや理化学用途向けの石英ガラス製品の加工を行っています。 1ｍクラスの大きな製品や拡散接合技術により製品内部に複雑…
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自由な形の多孔質構造体を製造可能！薄型シートや円筒、御椀状が作れる新技術
『多孔質構造体（自立膜）』の製造技術は、 多孔質なコーティング皮膜を基材からダメージを与えずに分離できる新技術。 シリコンや酸化系セラミックスで 薄型シートや筒・お椀状など、形状問わず作れま…
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耐薬品性、耐熱性、紫外線透過性に優れた高純度材料からできたマイクロチップです。
石英ガラスは耐薬品性、耐熱性、紫外線透過性に優れた高純度材料です。 ●超精密機械加工により小径孔や3D微細流路の形成が可能 ●MENS技術により微細流路パターンの形成が可能 ●石英ガラス同士…
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環境面へ配慮した『ドライ方式洗浄』採用
テクノクオーツ社では、半導体製造プロセスで使用した各種パーツの定期洗浄を行っております。
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環境対応型の新商品開発
CVDイットリアは耐プラズマ性に優れた高純度・透明保護膜です。
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製品サイズでφ500mmまで製作実績あり
熱拡散を利用し、石英ガラス部材同士を直接接合することができます。
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サブミクロンオーダーの超精密加工
SiC・アルミナ基板への微細ピン形成及び超平坦化仕上げが可能です。 【特徴】 ○ピン径φ0.1mmから製作可能 ○ピンの面積占有比率1％以下 ○全面平面度0.3μm以下（φ300mm面内）…
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将来に向けて新しいニーズにも挑戦
技術が広がる、応用加工製品
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石英ガラス製マイクロチップ
石英ガラスをはじめとした各種材料を取り揃えております。
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FPD、次世代照明、MEMSセンサー、ソーラーパネル等、各種デバイス製造プロセス向け製品
テクノクオーツ社では幅広いニーズに対応すべく超大型電気炉や大型機械加工設備を導入し、超大型製品の製作に積極的に取り組んでおります。
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200～400工程…複雑な半導体製造のプロセスを支える石英ガラス製品
半導体製造工程に多用される石英ガラス・シリコン製品
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様々な形状のリング製品を、石英ガラスの加工によって製作いたします！
精密機械加工による代表的製品は「リング製品」です。材料のカット加工に始まり、複数の研削加工を経て製品形状にしていきます。近年のウェーハ大口径化に対応するため、バーナー火加工と同様に機械加工設備の大型化…
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次世代装置にも対応
縦型反応管用大型電気炉で大口径化に対応
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洗浄のことならお任せ下さい！
当社では、環境面へ配慮した洗浄方法として『ドライ方式洗浄』を採用しております。 大量の廃液を発生させるウェット洗浄への依存を低減させ、品質・納期・コスト・安全面の向上を図っております。ドライ方式の場…
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微細加工のことならお任せ下さい！
テクノクオーツ株式会社より「微細加工技術」のご案内です。
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CVDイットリアは耐プラズマ性に優れた高純度保護膜です。
「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。 密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス（F系、Cl系） で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。
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- 表示件数
- 45件
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