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CVD装置解析ソフトウェア『Particle-PLUS』
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成膜装置向け解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
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【事例紹介】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタリングシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCPプラズマシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS 円筒型マグネトロン装置のプラズマスパッタリングシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタリング(3D計算)シミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS RFマグネトロンスパッタリングシミュレーション
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半導体関連装置向けに特化した解析ソフトウェア
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3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
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