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V-551 ~230mm動作でnm分解能の高精度リニアステージ
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ボイスコイル駆動フォーカスステージ V308
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高分解能ヘキサポッド H-840G2IHP
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エアベアリング回転ステージ A63x
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PIHeraピエゾリニアステージ P-620.1-P-629.1
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ピエゾナノポジショニングステージ P-733.Z
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LISA高速ピエゾステージ P-753
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PIHera高精度ステージ P-620.Z~P-622.Z
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大開口 エアベアリング回転ステージ A-68x
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