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低メタル(UHP)グレード薬品 PGMEA
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受託サービス<SEM/FIB/顕微鏡/薬液処理>
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水晶エッチング液「Pure Etch ZE series」
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TiWエッチング液「Pure Etch TE series」
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Siエッチング液(等方性)
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SUS粗面化エッチング液「Pure Etch MF series」
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Cuシード層エッチング液「Pure Etch C203・C210」
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GaP粗面化エッチング液「Pure Etch F200 series」
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『受託加工サービスのご案内』
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単結晶シリコンテクスチャーエッチング液「Pure Etch TP101」
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Ag・Ag合金・Ag系積層膜エッチング液「Pure Etch AS series」
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Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品「Pure Etch AS series」
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ITOエッチング液「Clean Etch ITO series」
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PZTエッチング液「Pure Etch PT series」
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Ni粗面化エッチング液「Pure Etch MF series」
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Agナノワイヤーエッチング液「Pure Etch GNW series」
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Alテーパーコントロールエッチング液「Pure Etch NS series」
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レジスト剥離液(水系)「Pure Clean MC series」
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Alダメージレス絶縁膜エッチング液「Pure Etch ZE series」
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カラーフィルターリワーク剥離液、ポリイミド剥離液 「Pure Clean CFX series」
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レジスト剥離液(アミン/溶剤系・溶剤系)「Pure Clean MC series」
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AlダメージレスSiエッチング液(異方性)「Pure Etch 160、SI151」
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GaN(N面)粗面化エッチング液「Pure Etch F1000 series」
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AlGaAs・GaAs粗面化エッチング液「Pure Etch F300、F400 series」
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『試薬調製サービス』導入事例資料
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