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PR高濃度対応、最大30の粒径分布測定。最小可測粒径0.3umから10.0…
光散乱パーティクルセンサ『9000シリーズ』は、最小0.3μmの微粒子から測定、エアロゾルの個数濃度や、粒径分布、短時間で生じる変動・変化量などの情報が得られます。In-Situ、リアルタイムの光散乱方式の利点を生かして、大気環境、室内環境、暴露実験などで、威力を発揮します。もちろん高清浄度での測定までこの1台で対応します。粒径範囲は0.3mから10.0umにこだわらず、例えば0.3umから2.5...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社パーティクルプラス
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ウエハ表面に可視でAFフォーカス!赤外顕微鏡でパターン寸法を画像…
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の 『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。 当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして 赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。 2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。 【特長】 ■対象ウエハ 8” ■2カセット ■位置決め精度±1μm ■軸...
メーカー・取り扱い企業: アローズエンジニアリング株式会社
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