【コーター】小型塗工機、低価格、短納期、試作、選べる塗布方式

PRダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短…

コアボックスジャパンはコーターやロールプレスなどの二次電池試作設備、 高機能フイルム関連のコーターなどの装置を低価格、短納期で提供します。 また、制御盤設計製作、制御システムの構築を得意とする電気部門があり、様々な装置の制御お任せください。 当社の『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 塗布方式もお客様のニーズに適した提案をい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン

AR膜欠陥検査装置『EX2001S』

水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装…

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物 ■...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

自動赤外顕微鏡

ウエハ表面に可視でAFフォーカス！赤外顕微鏡でパターン寸法を画像…

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の 『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。 当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして 赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。 2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。 【特長】 ■対象ウエハ 8” ■2カセット ■位置決め精度±1μm ■軸...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

原子間力顕微鏡　「ハンディＡＦＭ」

何処にでも連れて行ける奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭ

原子間力顕微鏡「ハンディＡＦＭ」は、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りませ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

検査装置『ITO膜外観検査装置』

透明膜の線幅測定や外観検査に最適です！

『ITO膜外観検査装置』は、フィルムやガラス基板上の透明膜の線幅測定や 外観検査を行う装置です。 特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、 飛び散りを明瞭に撮像し外観測定が可能です。 フィルム全体を高速に検査し、高倍光学系で欠陥箇所を詳細にレビュー観察 することが可能です。 また、オプションにて、基板上に乗っている異物の大きさや分布も高速に 測...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

検査装置　「異物検査装置」

簡単操作、高速解析。フレキシブルにインライン装置構成の組上げが可能

検査装置「異物検査装置」は、カメラから取り込んだ画像を検査ソフトウェア（Ｉｐ－20）によって処理して、各種の解析ｗｐ高速で行うことができます。入力ソースとなるカメラ機種選択の自由度が大きいことが、本システムの大きな特長となっています。市販のＮＴＳＣ・デジタル出力のほとんどのカメラに対応していますから、ハイエンドの高機能装置からローコストの普及型まで、フレキシブルにインライン装置構成を組み上げること...

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検査装置　「cp-30（顕微鏡型画像計測システム）」

簡単操作、精密計測、自動計測可能。操作性に優れたＧＵＩ環境

検査装置「cp-30（顕微鏡型画像計測システム）」は、顕微鏡に取り付けられたＣＣＤカメラによって取りこまれた画像を解析して、線幅を自動計測するシステムです。画面内に設定した水平または、垂直ウインドウの輝度波形から、線幅を精密測定します。専用インターフェースでＸＹステージと連動しており、指定位置へ自動的に移動して幅計測を行うことができます。Ｚ軸のオートフォーカス機能により、厚みの違うワークも柔軟に対...

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測定装置『シールズレ測定装置』

LCDガラスパネルのシール部とBM部のギャップ寸法を素早く測定！

『シールズレ測定装置』は、LCDガラスパネルのシール部とBM部の ギャップ寸法を高速に測定することができる測定装置です。 搬送は連続移動にしCCDカメラを用いてストロボで静止画を得ますので、 安価な搬送機械で高速且つ安定した測定が可能になります。 レンズにはテレセントリックレンズを採用しているので、レンズとワーク間の 距離がワークの反り等で多少変っても測長精度が保証されます。 ...

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【製品不要の改善】MEMS顕微鏡（両面パターンズレ検査装置）

顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。 『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして パターンズレや通り違い検査ができます。 新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で 上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で マークズレをサブミクロン測定します。 【基本...

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検査装置　「パターン検査装置」

良品・不良品の判別に。簡単操作・自動補正・最大１０スペック設定可能

検査装置「パターン検査装置」は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査時にその 登録画像と比較することにより、画像表面に付着している異物、傷、汚、パター欠陥 を検出します。またアライメントパターンの位置を表示し、寸法検査も行います。検出したパターンや異物等の面積、サイズ（最大径）を測定し、その検査結果データを測定条件と比較し、良品／不良品の判別をします。検査結果データはファイリングし蓄えます。詳...

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検査装置　「ウエハエッジ外観検査機」

傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現

検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に 高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッジの精細画像検査を実現しました。外部もＰＩＯ制御が可能で自動機に組込むこと...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

原子間力顕微鏡　「ステージ付ＡＦＭ」

非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡

原子間力顕微鏡「ステージ付ＡＦＭ」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価な...

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デジタルマイクロスコープ　「SDM2」

従来のズーム顕微鏡では実現できない高解像度

デジタルマイクロスコープ「SDM2」は、全自動のデジタルマイクロスコープシステムで、低倍～高倍までの広い範囲を観察出来ます。高解像度のズーム顕微鏡を用いる事で１μｍ以下の光学分解能で観察する事も可能です。自動ＸＹステージを用いて登録した座標に素早く移動する事もできます。また、オートフォーカス機能を搭載し、従来のズーム顕微鏡では実現できない高解像度を実現しています。詳しくはカタログをダウンロードして...

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高精度ウエハークラック検査装置　「スーパーマクロSM75」

３００ｍｍウエハーでワンショット1秒で検査

高精度ウエハークラック検査装置「スーパーマクロSM75」は、３００ｍｍウエハーでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に、赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックな...

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検査装置　「透明膜検査証明装置」

簡単操作、高精度。透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載

検査装置「透明膜検査証明装置」は、透明ガラス上に形成された透明膜などのパターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できます。臨界角よりガラス基板 の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光らない為、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の散乱表面反射を押さえ透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げるハレーション効果を上げて...

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ガラス基盤外形検査装置『PSI-50』

簡単操作！高精度に測定する検査装置！

『PSI-50』は、小型ガラス基盤やパネルの外形形状検査を高精度に測定が可能な 検査装置です。 外形寸法（最大幅）／バリ検出／欠け検出／切断ズレ検査や、 ガラス流し込み部の寸法測定が可能です。 また測定MAP表示機能、画像保存等を搭載しており、またパネル角度の 自動補正機能によりワークを検査ステージに置く際に角度を正確に 合わせる必要はありません。 範囲は設置すれば、自動...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

検査装置　「ガラス基板外形検査装置(PSI-50)」

簡単操作。小型ガラス基盤やパネルの外形形状検査を高精度に測定

検査装置「ガラス基板外形検査装置(PSI-50)」は、外形寸法（最大幅）／バリ検出／欠け検出／切断ズレ検査／ガラス流し込み部の寸法測定が可能です。また測定ＭＡＰ表示機能、画像保存等を搭載しております。またパネル角度の自動補正機能によりワークを検査ステージに置く際に角度を正確に合わせる必要はありません。範囲は設置すれば、自動的に角度を補正します。置いた角度が大きすぎると測定精度に影響が出ますので、警...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

超高速　ワイヤーボンド3次元外観検査装置

短時間検査、3次元測定、高精度、カスタマイズ可能な外観検査装置です。

本装置は、超高速（１視野１秒定地）で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。ワイヤーの高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール計上を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。 ■装置構成例 （2次元画像処理...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

スーパーマクロ SM75

300mウエハーで1ショット1秒で検査可能。全自動化検査ラインにも採用…

スーパーマクロ SM75は300mmウエハーでワンショット1秒で検査でき、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも採用されております。小型視野の光学系からラインアップしており、オプション光源に赤外線をもちいることにより内部のボイド検査にも応用できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...【主な特長】 ○短時間検査 →300mｍウエハーでワンショット1秒で検...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

検査装置『透明膜検査照明装置』

簡単操作、高精度！透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載！

『透明膜検査証明装置』は、透明ガラス上に形成された透明膜などの パターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できる装置です。 臨界角よりガラス基板の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ、 臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光りません。 また、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の 散乱表面反射を押さえ、透過効果により透明膜が無い部分の反射率...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社