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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄
ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○理想的なノズル配置により技群の面精度を実現 ○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社二宮システム
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溶剤1液から2液式まで、多種に対応することができる洗浄機
ヴァリアス社製の「ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機」は、 揺動、エレベータ付きに対応(モーター、シリンダ式)。 下限で超音波洗浄(水切り)、中間で蒸気洗浄、上限で乾燥処理をします。 オプションには専用チラーユニットをご用意。 ご要望に対応した装置を設計製作します。 【特徴】 ○溶剤により防爆仕様対応 ○超音波は各メーカー、周波数に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...
メーカー・取り扱い企業: ヴァリアス株式会社
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外装SUSは仕様!CR内に対応した洗浄装置、剥離装置
ヴァリアス社製の「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」は、 多種の洗浄物に対応した洗浄レシピを搭載。 処理能力に対応した自動搬送型で、剥離液にはリークの無い配管を使用。 ポンプもシールレス採用しています。 【特徴】 ○溶剤により防爆仕様対応 ○超音波は各メーカー、周波数に対応 ○装置内はFFU搭載も可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【取...
メーカー・取り扱い企業: ヴァリアス株式会社
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