フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

面状発熱体　『ポリイミドヒーター』

PR薄手！柔軟！だから多種多様な形状で使用可能な面状発熱体ヒーターです！

ただ発熱するだけじゃない！ 【1】薄くてやわらかいから小型・軽量化に貢献 【2】昇温レスポンスが早いから大幅性能アップ 【3】自由な形状で設計できるから用途が広がる シンワの面状発熱体は、金属箔に電気を流して発熱させる薄いシート状の発熱体です。非常に薄くてやわらかい為、曲面や狭いスペースへの加熱に適しています。さらに回路をエッチングで形成する為、設計者の意図した発熱分布を得ることが...

メーカー・取り扱い企業： シンワ測定株式会社 ＦＥ部

不溶性電極

不溶性電極

(Au、Pt、Ag他） ２．特殊金属材料(Ti・TA・Nb他）及び加工 ３．ガラス基板・金属・セラミックスへの薄膜加工（誘電体膜・導電体膜・金属膜） ４．ガラス基板・金属・セラミックスへのエッチング加工 ５．金属熱圧着加工 ６．電鋳 ７・貴金属メッキ(Au、Pt、Ag他） ８．電解研磨 ９．精密金型によるファインプレス加工 １０．ガラス・セラミックス基板各種精密加工（成型加工、...

メーカー・取り扱い企業： 伸和商工株式会社