大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

YWafer Mapper RD8-WL

ロボット搬送付き、多機能200x200mmウェーハマッピング装置RD8…

m - 2200nm ○測定対応ウェーハサイズ：２，３，４，６，８インチその他（200x200mmまで） ○マッピング間隔：0.01mm～(0.02mm繰り返し精度) ○ロボット搬送：25枚カセットｘ２ ○搬送対応ウェーハサイズ：2～6インチ又は4～8インチ ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ワイ・システムズ