工場内のCO2排出ゼロ化へ！新製品 真空浸炭炉『Z-TKM』

PR【10月展示会出展】ガス量とCO2排出量を抑制した操業で低炭素社会の実…

【展示会出展情報】​ 『サーマルテクノロジー2024』に出展いたします。 日時：2024年10月10日(木)～11日(金)　10:00 ～17:00 会場：グランフロント大阪　北館　 ブース番号：F-02 今回の展示会ではCO2削減に対応した設備に力を入れて出展いたします。 『Z-TKM』はCO2の排出を抑え、カーボンニュートラル低炭素社会の実現に貢献する真空浸炭炉です。 独自技術の組合わせ...

メーカー・取り扱い企業： DOWAサーモテック株式会社

実環境空間表現ソフトウェア SpaceSight※データ見える化

PR計測データを「もっと」わかりやすく！市販のデータロガーに対応！リアルタ…

空間／領域計測の実測データを空間座標軸（XYZ軸）に割り当てることで、 三次元空間のビジュアル化を行い、時間軸と同期をとることで“直感的にわかりやすい“空間表現になります。 可視画像や図面データ上で計測データを重ねたり、実測値から近似値を高速演算で算出したり、いまよりも、「もっともっと」わかりやすい計測表現を提供します。 【特長】 ■リアルタイムにデータ観察（2D,3D）が可能 ■市...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社

プラズマダイシング装置『MDS-100/MDS-300』

複数サイズのウェハに対応！誘導結合プラズマを使用したBosch法による…

安定性、均一性に優れた25枚連続処理が可能なプラズマダイシング装置です。 高い均一性を保ちながら、ソーやレーザのようなウェハへのダメージを 発生させずに処理を行うことが可能。 高速ガス切り替えシステムを用いたBosch法によって、優れた側壁形状および 自由な形状での加工を実現し、既存の手法と比較して優れたダイ強度を 提供いたします。 【特長】 ■ダイの品質/歩留まり/...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマCVD装置『SHUTTLELINE(R)シリーズ』

小型で多用途に応用可能！デバイス評価プロセスにも適応できる高機能装置で…

【スペック】 ■サイズ：(本体・標準)W~800mmxD1700mmxH1500mm 　※サイズは構成に応じて異なる ■ガス配管：最大12ライン(プロセスガス11ライン+パージ用N2) ■対応ウエーハサイズ：最大φ200mmフルウエハ、クーポンタイプ、パッケージ化ダイ等 　※導入可能サイズ・枚数はモデルによって異なる...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマCVD装置『210Dモデル』

φ200mmウェーハまで対応！成膜・エッチングの両用が可能なプラズマC…

　ICP-RIEドライエッチャー ■-20℃～150℃(オプションにより変更可能) ■クーポンタイプから最大φ200mmフルウェーハまで対応 ■2”ウェハ7枚、3”ウェハ3枚等のバッチ処理も可能 ■ガス配管：標準8ライン(オプションにより最大11ライン) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社